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EBR-1200 晶邊光阻去除機

Product details
EBR-1200  晶邊光阻去除機(EBR)
  1. Wafer Size: 300mm Wafer
  2. 洗邊精度±0.2mm
  3. 全自動Solvent Supply
  4. 支援SECS/GEM
  5. 符合Class 100無塵等級
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