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DTS-1220 晶圓傳送機

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DTS-1220  晶圓傳送機
  1. Wafer Size: 300mm Wafer
  2. 相容FOUP ；FOSB；Metal Cassette；Teflon Cassette
  3. Load Port數量 : 2~4 Ports
  4. 包含OCR/RFID
  5. 支援SECS/GEM
  6. 符合Class 100無塵等級
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